凱世通榮獲上海市科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)

    本報(bào)訊 （記者孫文青）10月23日，上海市召開全市科技大會(huì)暨科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)，并公布2023年度上海市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)。萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司（簡(jiǎn)稱“凱世通”）榮獲上海市科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，獲獎(jiǎng)項(xiàng)目名為“離子注入機(jī)技術(shù)與應(yīng)用產(chǎn)業(yè)化”。凱世通副總經(jīng)理、首席技術(shù)官夏世偉作為項(xiàng)目第一完成人出席大會(huì)并登臺(tái)領(lǐng)獎(jiǎng)。

    凱世通此次獲獎(jiǎng)項(xiàng)目所研發(fā)的低能大束流離子注入機(jī)系列設(shè)備是制造邏輯芯片、DRAM存儲(chǔ)芯片、功率器件、CIS芯片的核心設(shè)備，設(shè)備性能與穩(wěn)定性表現(xiàn)卓越，實(shí)現(xiàn)了集成電路重大裝備產(chǎn)業(yè)化突破。

    夏世偉表示，此次獲獎(jiǎng)是凱世通研發(fā)團(tuán)隊(duì)辛苦付出、持續(xù)拼搏的結(jié)果，凱世通堅(jiān)持正向設(shè)計(jì)、創(chuàng)新突破，緊密結(jié)合世界前沿科技與產(chǎn)業(yè)需求，持續(xù)創(chuàng)新推動(dòng)離子注入機(jī)原創(chuàng)性、引領(lǐng)性科技攻關(guān)，不斷強(qiáng)化技術(shù)優(yōu)勢(shì)，持續(xù)為客戶提供性能卓越、穩(wěn)定可靠、降本增效的先進(jìn)設(shè)備和工藝解決方案，努力服務(wù)國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

    目前，凱世通已打造出多款離子注入機(jī)標(biāo)桿項(xiàng)目，在國(guó)內(nèi)主流12英寸晶圓廠實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化并收獲了批量重復(fù)訂單。隨著產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加快，凱世通將持續(xù)提升產(chǎn)能，增強(qiáng)服務(wù)客戶能力。

（編輯 李波）