中微公司：冉冉升起的國(guó)際半導(dǎo)體裝備“新星”

    四輪問(wèn)答，過(guò)關(guān)斬將，尹志堯（中微公司創(chuàng)始人、董事長(zhǎng)及總經(jīng)理）統(tǒng)領(lǐng)的中微公司僅用2個(gè)多月的時(shí)間，即于6月11日晚間披露了招股書(shū)上會(huì)稿。

    作為首家“四問(wèn)”后上會(huì)的公司，中微公司有什么“真功夫”？“技術(shù)研發(fā)能力出色，產(chǎn)品性能良好，中微公司的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力已不容小覷。”在大規(guī)模使用了中微公司MOCVD設(shè)備（金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀，是生產(chǎn)LED芯片的關(guān)鍵設(shè)備）后，華燦光電總裁劉榕如此評(píng)價(jià)。另有資深半導(dǎo)體裝備業(yè)內(nèi)人士評(píng)述，“這是一顆冉冉升起的國(guó)際半導(dǎo)體裝備‘新星&rsquo！dquo;

    從刻蝕設(shè)備打破國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)在中國(guó)市場(chǎng)的壟斷，到成為全球MOCVD龍頭，再到5nm等離子體刻蝕設(shè)備應(yīng)用到全球最領(lǐng)先的晶圓制造廠，中微公司在中國(guó)創(chuàng)“芯”的當(dāng)下，一直勇立潮頭，用技術(shù)創(chuàng)新來(lái)為“中國(guó)芯”保駕護(hù)航。

    打破國(guó)外壟斷專(zhuān)利訴訟從未輸過(guò)

    提到半導(dǎo)體，國(guó)人首先想到的就是被國(guó)際先進(jìn)“卡脖子”，尤其是半導(dǎo)體裝備，更是國(guó)人長(zhǎng)期的“心痛”。如今，中微公司用自己的堅(jiān)韌和努力，一點(diǎn)一滴地改變著這個(gè)狀況。

    2015年，美國(guó)商務(wù)部工業(yè)和安全局（BIS）發(fā)布了一個(gè)特別的公告：由于中國(guó)一家公司已經(jīng)做出了和美國(guó)設(shè)備公司有相同質(zhì)量和數(shù)量的等離子體刻蝕機(jī)，所以取消對(duì)中國(guó)的刻蝕機(jī)出口管制。這家公司正是中微——全球半導(dǎo)體裝備新秀。

    之后，中微公司在MOCVD領(lǐng)域再獲佳績(jī)。2010年，中微公司開(kāi)始研發(fā)用于LED器件加工中最關(guān)鍵的設(shè)備——MOCVD，到2017年逐步打破美國(guó)Veeco（維易科）、德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)等國(guó)際廠商的壟斷。

    中微公司何以能打破國(guó)外壟斷？在業(yè)內(nèi)人士看來(lái)，這是一家具有“巨人基因”的公司。2004年，尹志堯帶領(lǐng)一個(gè)豪華的全球化團(tuán)隊(duì)，創(chuàng)辦了中微公司，致力于半導(dǎo)體裝備的國(guó)產(chǎn)化。彼時(shí)，尹志堯已經(jīng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域耕耘20載，先后在Intel、泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料等頂級(jí)國(guó)際半導(dǎo)體公司擔(dān)任要職，具有豐富的半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)。中微公司的其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員如杜志游、倪圖強(qiáng)、麥?zhǔn)肆x也都是這個(gè)領(lǐng)域的頂尖人才。

    集成電路是一個(gè)“板凳要坐十年冷”的產(chǎn)業(yè)，其中的半導(dǎo)體裝備細(xì)分領(lǐng)域更是如此。中微公司在這個(gè)領(lǐng)域跋涉了11年，才迫使美國(guó)放開(kāi)在刻蝕機(jī)領(lǐng)域的壟斷;奮斗了14載，才在全球氮化鎵基LEDMOCVD設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)主導(dǎo)地位。

    真正的高科技公司都是研發(fā)打頭陣。2016年至2018年，中微的研發(fā)支出分別是3.02億元、3.3億元、4.04億元，占其當(dāng)期營(yíng)收的比例分別為49.62%、34%、24.65%。

    2017年11月，在Veeco申請(qǐng)禁止SGL出售采用其專(zhuān)利的石墨盤(pán)給中微公司時(shí)，中微公司最終贏得了起訴Veeco專(zhuān)利侵權(quán)的關(guān)鍵專(zhuān)利有效性審決。

    這是最讓尹志堯驕傲的事情之一——憑借強(qiáng)大的自主研發(fā)，中微公司從未輸過(guò)任何專(zhuān)利訴訟。

    據(jù)招股書(shū)，截至2018年末，中微公司共涉及4起海內(nèi)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)訴訟案件，涵蓋2件專(zhuān)利案件和2件商業(yè)秘密案件，公司在訴訟中均達(dá)成和解或勝訴，以事實(shí)證明了公司具有較堅(jiān)實(shí)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)地位和應(yīng)對(duì)國(guó)際復(fù)雜的知識(shí)產(chǎn)權(quán)挑戰(zhàn)的能力，為公司的健康發(fā)展提供了有力保障。

    “中微公司面臨國(guó)際巨頭的訴訟一點(diǎn)都不奇怪，它干的就是搶巨頭蛋糕的活。”面對(duì)中微從創(chuàng)立起就面臨的一個(gè)接一個(gè)訴訟，某國(guó)際半導(dǎo)體裝備公司高管對(duì)記者解釋道，半導(dǎo)體行業(yè)其實(shí)是一個(gè)高度集中的市場(chǎng)，幾乎每個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的前三家都占據(jù)了近九成的市場(chǎng)份額，新進(jìn)入者嶄露頭角自然備受打壓。

    刻蝕設(shè)備打入5nm

    MOCVD國(guó)際先進(jìn)行列

    臺(tái)積電在5月份的技術(shù)論壇上透露，5nm制程生產(chǎn)線一期已經(jīng)開(kāi)始裝機(jī)，預(yù)計(jì)明年一季度量產(chǎn)。因此，中微公司再次成為市場(chǎng)的焦點(diǎn)。

    中微公司在招股書(shū)中披露，其自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備已廣泛應(yīng)用于國(guó)際先進(jìn)的14nm、7nm和5nm生產(chǎn)線。

    中微創(chuàng)立之初，就將目光瞄準(zhǔn)了刻蝕設(shè)備領(lǐng)域。“等離子刻蝕機(jī)的加工精度相當(dāng)于頭發(fā)絲的五千分之一，還要求有持續(xù)的穩(wěn)定性。”在前述國(guó)際半導(dǎo)體裝備公司高管看來(lái)，正是在工藝、設(shè)計(jì)等領(lǐng)域的精湛技術(shù)，以及數(shù)十年如一日的堅(jiān)持，使得中微可以擁有打破壟斷的實(shí)力。

    僅用了3年，中微公司就于2007年拿出了第一代介質(zhì)刻蝕機(jī)。同年7月，中微公司進(jìn)入清科集團(tuán)的“2007年中國(guó)最具投資價(jià)值企業(yè)50強(qiáng)”榜單。也就是在這一年，中微公司成為了國(guó)際半導(dǎo)體巨頭的眼中釘，專(zhuān)利訴訟開(kāi)始接連不斷。

    目前，中微公司在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域和MOCVD領(lǐng)域都進(jìn)入了全球先進(jìn)行列。

    在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，據(jù)中微公司披露，14-7納米CCP介質(zhì)刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、用于先進(jìn)邏輯電路的CCP刻蝕設(shè)備均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，用于存儲(chǔ)器刻蝕的CCP刻蝕設(shè)備處于追趕先進(jìn)水平。

    “研發(fā)能力出色，產(chǎn)品性能良好。”在大規(guī)模采購(gòu)并使用了中微公司的MOCVD后，華燦光電總裁劉榕在接受采訪時(shí)給出了這樣的評(píng)價(jià)。目前，中微公司已開(kāi)發(fā)了三代MOCVD設(shè)備，高溫MOCVD設(shè)備、30英寸大尺寸MOCVD設(shè)備、新型高產(chǎn)能MOCVD設(shè)備均達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，產(chǎn)品被三安光電、華燦光電、乾照光電等多家一流LED制造大廠大批量采購(gòu)，逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

    實(shí)力擔(dān)當(dāng)之下，中微公司承擔(dān)了多項(xiàng)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)等課題。據(jù)招股書(shū)，自2009年起，中微公司先后承擔(dān)了65-45nm介質(zhì)刻蝕機(jī)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、32-22nm介質(zhì)刻蝕機(jī)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、22-14nm介質(zhì)刻蝕機(jī)開(kāi)發(fā)及關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化、14-7nm介質(zhì)刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、刻蝕工藝零部件驗(yàn)證與應(yīng)用等國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)，以及高端MOCVD設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、450mm大尺寸刻蝕機(jī)研發(fā)等上海市項(xiàng)目。

    開(kāi)拓創(chuàng)新，在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域攻城略地，中微公司拿獎(jiǎng)拿到手軟。據(jù)披露，中微公司共榮獲了69項(xiàng)知名獎(jiǎng)項(xiàng)，如在2018年度VLSIResearch“客戶滿意度”調(diào)查中位居全球半導(dǎo)體設(shè)備公司的第三名，在刻蝕和清洗設(shè)備供應(yīng)商排名中位列第二，在全球薄膜沉積設(shè)備供應(yīng)商排名中榮登榜首。

    志在全球深度受益國(guó)內(nèi)IC發(fā)展

    “隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展，中微公司迎來(lái)快速成長(zhǎng)期。”對(duì)于中微公司的發(fā)展前景，有產(chǎn)業(yè)研究人士認(rèn)為，在摩爾定律引導(dǎo)下，全球新建生產(chǎn)線超過(guò)60條，其中超過(guò)四成在中國(guó)，這給中微公司帶來(lái)巨大機(jī)遇。

    “到2020年，僅芯片前端設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到300至400億美元。”尹志堯在2017年某次演講中曾引用相關(guān)數(shù)據(jù)，描述了中微公司從事的刻蝕和化學(xué)薄膜設(shè)備的良好市場(chǎng)前景。“我們統(tǒng)計(jì)，2016年到2020年，半導(dǎo)體設(shè)備投資為748億美元，其中等離子體刻蝕設(shè)備投資大約為134.7億美元，中微的刻蝕機(jī)可以得到相當(dāng)大的份額。”

    盡管前景是光明的，但道路是曲折的。在創(chuàng)業(yè)之初，尹志堯和中微公司沒(méi)有少受“錢(qián)”的折磨。

    據(jù)一半導(dǎo)體裝備人士介紹，高技術(shù)、高投入、高風(fēng)險(xiǎn)，是半導(dǎo)體行業(yè)的典型特征;加上投資周期長(zhǎng)，半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域就更難尋求到市場(chǎng)化的資金。

    這個(gè)時(shí)候，政府基金尤其是像國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（簡(jiǎn)稱(chēng)“大基金”）這樣的專(zhuān)項(xiàng)基金的重要性就凸顯出來(lái)。據(jù)披露，自2016年至2018年，中微公司先后啟動(dòng)了多輪融資，引入了巽鑫投資、上海創(chuàng)投、國(guó)開(kāi)創(chuàng)新、浦東新興等多家國(guó)資背景的機(jī)構(gòu)股東。

    招股書(shū)顯示，中微公司第一大、第二大股東上海創(chuàng)投、巽鑫投資分別持股20.02%、19.39%。其中，巽鑫投資成立于2014年12月，是大基金100%控股的子公司。上海創(chuàng)投是上?？萍紕?chuàng)業(yè)投資（集團(tuán)）有限公司100%控股的子公司，實(shí)際控制人為上海市國(guó)資委。

    “回顧半導(dǎo)體發(fā)展史，各國(guó)的半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)都是在政府支持下才有了大力發(fā)展。”對(duì)于政府對(duì)產(chǎn)業(yè)的支持，上述產(chǎn)業(yè)研究人士給予了充分的肯定。

    中微公司的快速發(fā)展也有力地證明，在半導(dǎo)體領(lǐng)域尤其是半導(dǎo)體裝備材料領(lǐng)域，政府扶持具有相當(dāng)重要的作用。財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，中微公司2016年至2018年?duì)I業(yè)收入分別為6.1億元、9.72億元、16.39億元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率為64.00%;歸母凈利潤(rùn)分別為-2.39億元、2991.87萬(wàn)元、9086.92萬(wàn)元。

    “盡管中微公司已經(jīng)很成功，但到目前為止，只不過(guò)是從國(guó)際巨頭的嘴里撕下來(lái)一小塊肉。面對(duì)它們占有超九成的市場(chǎng)份額、長(zhǎng)期積累的研發(fā)技術(shù)能力，中微公司一刻都不可以懈怠和掉以輕心。”有國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備大廠的人士提醒，在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域，如果進(jìn)入不了全球前2名行列，面對(duì)技術(shù)的快速迭代，公司也就無(wú)法形成長(zhǎng)期的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力、持續(xù)的研發(fā)能力。